标准编号：GB/T 32817-2016

中文名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

代替标准：

标准类别：

采标号：IEC 62047-4:2008

采标名称：半导体器件 微机电装置 第4部分:MEMS总规范

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：