标准编号：GB/T 32814-2016

中文名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：