标准编号：GB/T 32999-2016

中文名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO/TR 22335:2007

采标名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：