标准编号：GB/T 15909-2017

中文名称：电子工业用气体 硅烷

英文名称：Gas for electronic industry—Silane

发布日期：2017-05-31

实施日期：2017-12-01

代替标准：GB/T 15909-2009

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：