标准编号：GB/T 17864-1999

中文名称：关键尺寸(CD)计量方法

英文名称：CD Metrology procedures

发布日期：1999-09-13

实施日期：2000-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P24:1994

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：