标准编号：GB/T 17865-1999

中文名称：焦深与最佳聚焦的测量规范

英文名称：Specification for measuring depth of focus and best focus

发布日期：1999-09-13

实施日期：2000-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P25:1994

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：