标准编号：GB/T 17866-1999

中文名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

英文名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

发布日期：1999-09-13

实施日期：2000-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P23:1993

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：