标准编号：GB/T 34177-2017

中文名称：光刻用石英玻璃晶圆

英文名称：Quartz glass wafer for lithography

发布日期：2017-09-07

实施日期：2018-08-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：