标准编号：GB/T 14142-2017

中文名称：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

英文名称：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

发布日期：2017-09-29

实施日期：2018-04-01

代替标准：GB/T 14142-1993

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：