标准编号：GB/T 34326-2017

中文名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

发布日期：2017-09-29

实施日期：2018-08-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 16531:2013

采标名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准及相关电流或电流密度测量

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：