标准编号：GB/T 5226.33-2017

中文名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

英文名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

发布日期：2017-10-14

实施日期：2018-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：IEC 60204-33:2009

采标名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：