标准编号：GB/T 34971-2017

中文名称：半导体制造用气体处理指南

英文名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-02-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：