标准编号：GB/T 18682-2002

中文名称：物理气相沉积TiN薄膜技术条件

英文名称：Specifications of physical vapour deposition TiN films

发布日期：2002-03-10

实施日期：2002-08-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：